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J-GLOBAL ID：200903017553090160

外観検査装置

Inventor： 塚原 博之 ,  大嶋 美隆 ,  安藤 護俊
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 青木 朗 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991314841
Publication number (International publication number)：1993152405
Application date： Nov. 28, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は外観検査装置に関し、微細リードの検査を高速に行うことができる自動外観検査装置を実現することを目的とする。【構成】 撮像手段20と、複数の照明手段22,24と画像メモリ38とを具備して成るリード外観検査装置において、撮像手段20と検査対象26との間に焦点位置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明切替手段23を設けるように構成する。

Claim (excerpt)：

撮像手段(20)と、複数の照明手段(22,24)と、画像メモリ(38)とを具備して成るリード外観検査装置において、撮像手段(20)と検査対象(26)との間に、焦点位置切替えと照明切替えを同時に行う焦点位置・照明切替手段(23)を設けたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (5)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88 ,  H04N 7/18