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J-GLOBAL ID：200903017555807991

走査露光方法及び装置

Inventor： 宮地 敬
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994175198
Publication number (International publication number)：1996045813
Application date： Jul. 27, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 走査露光装置でオートフォーカスを行う際に、カットオフ周波数が可変のローパスフィルタを用いることなく、且つウエハの表面の状態や走査速度に依らずに、そのウエハの表面を目標とする面に正確に追従させる。【構成】 AFセンサ25からのフォーカス信号がフィルタ部51に供給され、フィルタ部51でフォーカス信号の真値の推定量が求められる。その推定量を用いて、最小自乗近似演算部52でウエハの表面の近似面のフォーカス位置、及び傾斜角が算出され、減算部54で目標値からその算出結果を差し引いて得られる偏差が制御部62に供給され、制御部62からの制御信号によりアクチュエータ63が駆動される。フィルタ部51でのゲインは、ウエハが静止及び移動しているときのフォーカス信号のばらつきを用いて最適化される。

Claim (excerpt)：

転写用のパターンが形成されたマスクを露光用の照明光で照明し、前記マスクのパターンを投影光学系を介して感光性の基板上に投影し、前記マスクを所定の方向に走査するのと同期して、前記基板を所定の方向に走査することにより、前記基板上に前記マスクのパターンを逐次露光する走査露光方法において、前記基板の表面の前記投影光学系の光軸方向の位置に応じた検出信号を出力する焦点位置検出手段と、該焦点位置検出手段から出力される検出信号を所定のゲインで増減するフィルタ手段と、該フィルタ手段から出力される検出信号に基づいて前記基板の前記投影光学系の光軸方向の位置を調整する高さ調整手段と、を備え、前記基板が静止しているときの前記焦点位置検出手段からの検出信号のばらつき、及び前記基板が走査されているときの前記焦点位置検出手段からの検出信号のばらつきに基づいて前記フィルタ手段における前記所定のゲインを求めることを特徴とする走査露光方法。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G03F 9/02

FI (5)：

H01L 21/30 518 ,  G02B 7/11 M ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 525 H ,  H01L 21/30 526 A