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J-GLOBAL ID：200903017567126590

光磁気記録媒体用ターゲット材およびその製造方法

Inventor： 増田 薫 ,  目黒 卓
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Agent (1)： 大場 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994055248
Publication number (International publication number)：1995090567
Application date： Mar. 01, 1994
Publication date： Apr. 04, 1995
Summary：

【要約】【目的】 低透磁率であって、かつ均一な膜組成分布を実現でき、特にマグネトロンスパッタリング法に適した光磁気記録媒体用ターゲット材およびその製造方法を提供する。【構成】 希土類元素をREと表記し、鉄族金属群から選ばれる1種以上の元素をTMと表記するとき、化学式TM2REで表される金属間化合物の組成よりもREが多い組成を有するRE-TM相(A)と、化学式TM2REで表される金属間化合物の組成と同じかそれ以下の割合のREを含む組成を有するTM-RE相(B)と、あるいはさらにTM相(C)が、焼結された組織を有することを特徴する光磁気記録媒体用ターゲット材および各相に対応する粉末を加圧焼結すること特徴とする製造方法である。

Claim (excerpt)：

Nd、Gd、Tb、Dy、Ho、Erの元素群から選ばれる1種以上の希土類元素をREと表記し、Fe、Co、Niの鉄族金属群から選ばれる1種以上の元素をTMと表記するとき、化学式TM2REで表される金属間化合物の組成よりもREが多い組成を有するRE-TM相(A)と、化学式TM2REで表される金属間化合物の組成と同じかそれ以下の割合のREを含む組成を有するTM-RE相(B)とが、焼結された組織を有することを特徴する光磁気記録媒体用ターゲット材。

IPC (3)：

C23C 14/34 ,  C22C 28/00 ,  G11B 11/10 541