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J-GLOBAL ID：200903017587652426

搬送装置、搬送処理装置及び被処理物搬送処理方法

Inventor： 大録 範行 ,  村瀬 友彦 ,  小林 義明 ,  鈴木 高道
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994308582
Publication number (International publication number)：1995228346
Application date： Dec. 13, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】半導体基板等の被処理物を搭載した被搬送物体について、主搬送路と分岐又は交差した副搬送路との間において無摺動で高速切り替え搬送を可能にして被処理物を多数の製造装置の各々に投入できるようにしてプロセス処理を施す。【構成】被搬送物体を搬送するための主搬送路120と、被搬送物体を搬送するための副搬送路121と、交差点若しくは分岐点において主搬送路120と副搬送路121とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部122とを備え、被搬送物体を浮上させるための浮上手段14と、浮上される被搬送物体を、交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路120及び副搬送路121の各々に沿って誘導し、交差若しくは分岐搬送路部122において被搬送物体20の回転を抑制する誘導手段と、被搬送物体を磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段と、交差若しくは分岐搬送路部10cの電磁気駆動切替制御手段とを備える。

Claim (excerpt)：

被搬送物体を搬送するための主搬送路と、前記被搬送物体を搬送するための副搬送路と、交差点若しくは分岐点において前記主搬送路と前記副搬送路とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部とを備え、前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上させるための浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副搬送路の各々に沿って誘導し、前記交差若しくは分岐搬送路部において前記被搬送物体の回転を抑制する誘導手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、該誘導手段で主搬送路及び副搬送路の各々に沿って誘導される被搬送物体を磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、前記誘導手段及び前記磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記主搬送路又は副搬送路に沿って誘導搬送されて交差点若しくは分岐点に到達した被搬送物を該交差点若しくは分岐点から前記誘導手段及び前記磁気若しくは電磁気駆動手段によって副搬送路又は主搬送路に沿って誘導搬送させるように、前記交差若しくは分岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り替えて制御する磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段を備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (6)：

B65G 54/02 ,  B60L 13/03 ,  B65G 47/64 ,  B65G 47/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68