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J-GLOBAL ID：200903017594454206

ファイバ製プローブ素子

Inventor： ハーシェル マクリン マーチマン
Applicant, Patent owner： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
Agent (1)： 三俣 弘文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994185132
Publication number (International publication number)：1995151769
Application date： Jul. 15, 1994
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 光ファイバプローブの製造方法を提供することである。【構成】 本発明におけるファイバ製プローブ素子は、厚肉上部領域43、44と、この領域から延びるテーパー状領域42と、このテーパー状領域からさらに延びる薄い肉厚領域とからなり、その底部は、軸方向に直交する面で平面状で終端する。本発明の製造方法は、(a)円柱状の光ファイバセグメントを用意するステップと、(b)前記光ファイバセグメントの低部領域を第1所定時間エッチングするステップと(c)前記光ファイバセグメントの低部領域の先端をクリーブ(へき開)するステップと、(d)前記(c)ステップの後、前記低部領域を第2所定時間エッチングするステップとを有し、前記低部領域の幅は、これにより所定値に減少し、前記上部領域の幅は変化しないことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

厚肉上部領域(43、44)と、この領域から延びるテーパー状領域(42)と、このテーパー状領域からさらに延びる薄い肉厚領域(41)とからなるファイバ製プローブ素子において前記薄肉低部領域(41)は、その最大幅が、約0.01μm〜150μmの範囲を有し、その底部は、ファイバの軸方向に直交する面で平面状で終端することを特徴とするファイバ製プローブ素子。