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J-GLOBAL ID：200903017605818620

共焦点光スキャナ

Inventor： 田名網 健雄
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996209513
Publication number (International publication number)：1998048530
Application date： Aug. 08, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 利用できる光の効率を向上させ、高速走査が可能な共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】 複数の集光手段を有する円板及び集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ集光手段及び開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、開孔としてスリットが設けられた円板と、集光手段としてスリットと同一形状のシリンドリカル・マイクロレンズが形成された円板とを設ける。

Claim (excerpt)：

複数の集光手段を有する円板及び前記集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ前記集光手段及び前記開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、前記開孔としてスリットが設けられた円板と、前記集光手段として前記スリットと同一形状のシリンドリカル・マイクロレンズが形成された円板と、を備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。

IPC (2)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 107

FI (2)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 107