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J-GLOBAL ID：200903017611794229

共焦点光スキャナ

Inventor： 友定 伸浩 ,  田名網 健雄
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999201063
Publication number (International publication number)：2001027728
Application date： Jul. 15, 1999
Publication date： Jan. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 試料の縦断面画像をリアルタイムで目視することが可能な共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】 共焦点画像を得る共焦点光スキャナにおいて、試料上にライン状の光を照射させる遮蔽手段若しくは集光手段と、試料からの戻り光のうち遮蔽手段若しくは集光手段を通過若しくは透過した戻り光を走査する走査手段と、この走査手段の動作に同期して試料への集光位置を光軸方向に変化させる駆動手段とを設ける。

Claim (excerpt)：

共焦点画像を得る共焦点光スキャナにおいて、試料上にライン状の光を照射させる遮蔽手段若しくは集光手段と、前記試料からの戻り光のうち前記遮蔽手段若しくは前記集光手段を通過若しくは透過した前記戻り光を走査する走査手段と、この走査手段の動作に同期して前記試料への集光位置を光軸方向に変化させる駆動手段とを備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。

F-Term (13)：

2H052AA08 ,  2H052AB04 ,  2H052AB06 ,  2H052AB24 ,  2H052AB25 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC16 ,  2H052AC29 ,  2H052AD05 ,  2H052AD19 ,  2H052AD35 ,  2H052AF14