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J-GLOBAL ID：200903017623052180

観察・撮像装置の照明装置

Inventor： 村上 一
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 川崎 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995039413
Publication number (International publication number)：1996211327
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 被験体試料の被観察部表面が、微細な凹凸を有する平面形状であっても、観察目的に対応して全外周上の側斜光と一部外周上の偏斜光との各照明、同軸上の落射光の照明、側斜光と落射光との合成光による照明の各照明像の選択的な観察を行ない得るようにする。【構成】 筒状胴部12の外周面一側部に照明光導入部13を配した本体鏡筒11を設けて、筒状胴部内に、下面側の周囲部分に環状ミラー部15、中心部分にハーフミラー部16を形成したハーフミラー部材を設け、且つハーフミラー部材を包括する中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体31を可回動的に配設させ、ハーフミラー部材の下部側にハーフミラー部に対応させた撮像光学系17、及び環状ミラー部に対応させた環状集光レンズ18を配設させ、その下部側に被験体試料Cの被観察部表面に対面させる対物開口部を開口する。

Claim (excerpt)：

筒状胴部の外周面一側部に照明光を導光する照明光導入部を配した本体鏡筒を有し、前記筒状胴部内には、中心光軸上で前記照明光導入部に対して所定角度で対面させると共に、下面側の周囲部分に環状ミラー部、中心部分にハーフミラー部を形成したハーフミラー部材を設け、且つ該ハーフミラー部材を包括する中心光軸上の外周囲に照明切替え筒体を可回動的に配設させ、また、前記ハーフミラー部材の下部側には、中心光軸上でハーフミラー部に対応させた対物レンズを含む撮像光学系、及び該撮像光学系の外側周囲部分を占めて環状ミラー部に対応させた環状集光レンズを配設させ、その下部側に、前記中心光軸上で観察対象としての被験体試料の被観察部表面に対面させる対物開口部を開口し、且つ前記環状集光レンズに対応させる集光ガイド部材を配設させ、さらに、前記照明切替え筒体の周壁部分には、前記照明光導入部を通して導光される照明光を少なくとも側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の何れかに変換する複数種類の照明制御スリット部材を配し、且つ前記偏斜光用の照明制御スリット部材については、前記照明光導入部の入射光軸に直交して可回動的に構成し、必要に応じ、前記側斜光用、偏斜光用、落射光用、及び側斜光・落射光合成用の各照明制御スリット部材の何れかを前記照明光導入部に選択的に対面させて、前記被験体試料に対する側斜光、偏斜光、落射光、及び側斜光・落射光の合成光による照明をそれぞれに得られるようにし、併せて、前記偏斜光用の照明制御スリット部材が選択されたときには、該偏斜光用の照明制御スリット部材を前記照明光導入部の入射光軸上で選択的に回動させて、前記被験体試料に対する偏斜光照明角度を任意に設定し得るようにしたことを特徴とする観察・撮像装置の照明装置。

IPC (2)：

G02B 27/02 ,  G02B 6/00 331