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J-GLOBAL ID：200903017632306593

半導体素子を用いたアクチュエータ

Inventor： 林 利和
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995290793
Publication number (International publication number)：1997133069
Application date： Nov. 09, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】 応答特性が速く、形状記憶特性の劣化や消失を防ぐ。【解決手段】 スライダー1をアクチュエータボディ部2にスライド自在に備え、スライダー1とアクチュエータボディ部2との間に、コイルバネ形状の形状記憶合金でなる動力発生部3a1 ,3a2 ,3b1 ,3b2 を介装する。制御器6の可変電源6a,6bにより半導体5N1 ,5P2 ,5N2 ,5P1 に電流を流すと、ペルチェ効果により、動力発生部3a1 ,3a2 が冷却されて縮み、動力発生部3b1 ,3b2 が加熱されて伸び、これによりスライダー1が移動する。温度センサ4や変位センサ7のセンサ信号をフィードバックして電流iの値を制御する。

Claim (excerpt)：

アクチュエータボディ部に対してスライド自在に配置されたスライダーと、コイルバネの形状になっていると共に、上記スライダーと上記アクチュエータボディ部との間に介装されており、加熱・冷却されることにより伸縮して上記スライダーに力を伝えてスライダーをスライドさせる動力発生部と、上記動力発生部の加熱・冷却を行う半導体部と、上記スライダーの変位を検知する変位センサと、上記動力発生部の温度を検知する温度センサと、上記変位センサ及び上記温度センサにより検出したセンサ信号を受けると共に、指令入力を受け、指令入力に応じて上記スライダーのスライド量を制御するように、上記半導体部に流す電流を制御する制御器とを具備することを特徴とする半導体素子を用いたアクチュエータ。