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J-GLOBAL ID：200903017636787898

優れたパターン形成可能な画像形成用材料

Inventor：
藤城 光一

About 藤城 光一

, 
東 学

About 東 学


Applicant, Patent owner：
新日鐵化学株式会社

About 新日鐵化学株式会社


Agent (1)： 成瀬 勝夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998181042
Publication number (International publication number)：2000019728
Application date： Jun. 26, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 膜厚1〜100μmの変化に関係なく、表面荒れ防止性やパターン形状性に優れており、特に300〜450nmのi線、h線、g線に対して高感度を有する優れたパターン形成可能な画像形成用材料を提供する。【解決手段】 常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)とアルカリ可溶性樹脂(成分B)とを画像マトリックス成分として含み、1,3,5-トリアジン誘導体(成分C)とN-フェニルグリシン類(成分D)とを光重合開始剤成分として含む画像形成用材料であり、上記画像マトリックス成分における成分Aと成分Bとの割合が重量比(成分A/成分B)10/90〜90/10である。
Claim (excerpt)：
常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つ以上のエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)とアルカリ可溶性樹脂(成分B)とを画像マトリックス成分として含み、下記一般式(1)【化1】(但し、式中、R<SB>1 </SB>、R<SB>2 </SB>、及びR<SB>3 </SB>は水素原子、又は炭素数1〜18のアルキル基、置換アルキル基、アルキレン基、置換アルキレン基、アリール基、若しくは置換アリール基を示し、これらは互いに同じであっても異なっていてもよく、また、そのうちの少なくとも1つはトリハロゲノメチル基である)で表される1,3,5-トリアジン誘導体(成分C)と、下記一般式(2)【化2】(但し、式中R<SB>4 </SB>及びR<SB>5 </SB>は水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を示し、nは0〜5の整数である)で表されるN-フェニルグリシン類(成分D)とを光重合開始剤成分として含む画像形成用材料であり、上記画像マトリックス成分における成分Aと成分Bとの割合が重量比(成分A/成分B)10/90〜90/10であり、かつ、画像マトリックス成分100重量部に対して、上記成分Cを、光照射時の膜厚(tμm)が1μm≦t≦60μmの時には0.3〜(5-2.53 logt)重量部の割合で、また、この光照射時の膜厚(tμm)が60μm<t≦100μmの時には0.3〜0.5重量部の割合で含有すると共に、上記成分Dを0.5〜3重量部の割合で含有することを特徴とする優れたパターン形成可能な画像形成用材料。
IPC (4)：
G03F 7/029 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/029 ,  C08F 2/48 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (39)：
2H025AA01 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC04 ,  2H025BC42 ,  2H025CA14 ,  2H025CB13 ,  2H025CB43 ,  2H025DA08 ,  4J011AC04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA19 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA26 ,  4J011QA46 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA07 ,  4J011RA10 ,  4J011SA03 ,  4J011SA15 ,  4J011SA20 ,  4J011SA22 ,  4J011SA61 ,  4J011SA76 ,  4J011SA77 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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