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J-GLOBAL ID：200903017667652389

研磨装置

Inventor： 山下 善二郎 ,  太田 賢司
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992199757
Publication number (International publication number)：1994039705
Application date： Jul. 27, 1992
Publication date： Feb. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】 板状体からなる被研磨板1の一方の面を研磨する。被研磨板1を保持した固定基板2を装着する保持具3の外周部に、被研磨板1よりも硬い材料からなる下厚さ規制リング8が設けられている。【効果】 被研磨板1を所望の厚さに制御し、被研磨板1の研磨過多を防止することができる。また、被研磨板1の厚さに偏りがあっても、均等な肉厚に修正され、板厚むらの少ない研磨を実現することが可能となる。この結果、加工条件に影響されずに被研磨板1の研磨の仕上精度を保証し、安定した板厚を確保することができる。

Claim (excerpt)：

板状体からなる被研磨板の一方の面を研磨する研磨装置において、被研磨板を保持した固定基板を装着する保持具の外周部に、被研磨板よりも硬い材料からなる厚さ規制部材が設けられていることを特徴とする研磨装置。