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J-GLOBAL ID：200903017675067347
微細加工機
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
碓氷 裕彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992045444
Publication number (International publication number)：1993245644
Application date： Mar. 03, 1992
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：
【要約】【目的】 加工部材と被加工材料との間の距離によらずに安定した放電を行わせて、微細加工を実現する。【構成】 カソードとなる金属微細管21とアノードとなる被加工材料との間に被誘電率の大きい絶縁体22を構成する。これにより、絶縁体,金属(カソード),真空が接する三重接点60が形成され、電子が放出されやすくなり、絶縁体22表面に沿って沿面放電が発生される。この沿面放電中に金属微細管21の吐出口42からの反応ガス50を通すことによってラジカル化し、このプラズマガスの流れ61を被加工材料10と反応させることによってエッチングを行う。
Claim (excerpt)：
金属体と、その先端を被加工材料に対向させるとともに前記金属体と接点を有する絶縁体とからなる加工部材と、この加工部材を構成する前記金属体を陰極として、前記被加工材料方向から前記絶縁体の表面にほぼ平行に沿う方向の電界を印加する電界印加手段と、前記絶縁体の表面近傍を介して前記被加工材料表面に反応ガスを供給する反応ガス供給手段とを備えることを特徴とする微細加工機。
IPC (2)：
B23K 10/00 501
, H01L 21/302
