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J-GLOBAL ID：200903017686550872
電子顕微鏡の試料位置制御装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991360915
Publication number (International publication number)：1994013011
Application date： Dec. 12, 1991
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は電子顕微鏡の試料に於いて、所望視野の選択を容易にすることを目的とする。【構成】電顕の試料ステージは座標の読み取りが可能なものとする。観察すべき試料をまず、光学的撮像装置によりTV像として取り込み表示する。該表示像の座標を、試料ステージの座標と対応させることにより、光学的表示像上の所望の視野を容易に電顕像として観察できる。
Claim (excerpt)：
座標位置を読み取る手段を有する試料ステージを備えた電子顕微鏡に於いて、電子顕微鏡とは別に設けられた光学的像取り込み装置により、該試料の全部、もしくは一部の像を記憶し、かつ表示し、該表示像の座標を、前記試料ステージの座標と対応させる手段を有し、該表示像上の所望点に試料ステージを移動してなる電子顕微鏡の試料位置制御装置。
IPC (3)：
H01J 37/20
, H01J 37/22
, H01J 37/28
