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J-GLOBAL ID：200903017690088830

プラズマ滅菌装置

Inventor： 福島 金平 ,  秋津 哲也 ,  大川 博司
Applicant, Patent owner： 福島 金平 ,  秋津 哲也 ,  大川 博司
Agent (8)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003044865
Publication number (International publication number)：2004248989
Application date： Feb. 21, 2003
Publication date： Sep. 09, 2004
Summary：

【課題】効率のよいプラズマの生成を可能にすると共に連続した滅菌処理が行なえるようにする。【解決手段】面状電極3、誘電体5、格子状電極7の順に配置し、前記格子状電極7によって挟まれた上下に長い沿面放電通路11を形成する。その沿面放電通路11の上方にプロセスガス導入用のガス導入口13を、下方にガス出口15をそれぞれ設けたガス出口15から活性化したガスと共にプラズマを噴出する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

面状電極、誘電体、格子状電極の順に配置され、前記格子状電極によって挟まれた上下に長い沿面放電通路を形成し、その沿面放電通路の上方にプロセスガス導入用のガス導入口を、下方にガス出口をそれぞれ設けたことを特徴とするプラズマ滅菌装置。

IPC (2)：

A61L2/14 ,  H05H1/24

FI (2)：

A61L2/14 ,  H05H1/24

F-Term (8)：

4C058AA01 ,  4C058BB06 ,  4C058BB07 ,  4C058EE23 ,  4C058JJ16 ,  4C058JJ26 ,  4C058KK06 ,  4C058KK22