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J-GLOBAL ID：200903017691057785

光式ガス濃度検出方法及びその装置

Inventor： 酒井 克巳 ,  内田 昌彦
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996116483
Publication number (International publication number)：1997304274
Application date： May. 10, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 赤外吸収スペクトルを持つ成分のみならず赤外吸収スペクトルを持たない成分も検出可能な光式ガス濃度検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】 特定波長のレーザ光を一部は測定対象のガス雰囲気中に通し、一部はガス雰囲気中に通さず参照用に、それぞれのレーザ光を受光し、これらガス雰囲気透過光と参照光との差から特定波長のレーザ光を吸収するガスの濃度を検出すると共に、上記ガス雰囲気透過光の一部を特定ガスの吸着によって光透過特性が変化する導波路センサ9に通して受光し、この導波路センサ透過光と上記ガス雰囲気透過光との比から特定ガスの濃度を検出する。

Claim (excerpt)：

特定波長のレーザ光を一部は測定対象のガス雰囲気中に通し、一部はガス雰囲気中に通さず参照用に、それぞれのレーザ光を受光し、これらガス雰囲気透過光と参照光との差から特定波長のレーザ光を吸収するガスの濃度を検出すると共に、上記ガス雰囲気透過光の一部を特定ガスの吸着によって光透過特性が変化する導波路センサに通して受光し、この導波路センサ透過光と上記ガス雰囲気透過光との比から特定ガスの濃度を検出することを特徴とする光式ガス濃度検出方法。