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J-GLOBAL ID：200903017696860012

ウェーハ研磨パッドのツルーイング装置

Inventor： 茂木 克己 ,  遠藤 修
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994052275
Publication number (International publication number)：1995256554
Application date： Mar. 23, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】 研磨パッドの研磨量を最小限に留めつつ、十分なツルーイング効果を得ることができるウェーハ研磨パッドのツルーイング装置を提供する。【構成】 超砥粒を電着した砥粒層8を有するツルーイング砥石6と、砥粒層8の研磨面を研磨パッド2に当接させてツルーイング砥石6を回転自在に支持する支持アーム24と、砥石6を回転させる砥石回転モータ28と、砥石支持盤10と砥石回転軸16との間に介装された自動調芯型軸受14と、ツルーイング砥石6の内側から純水を供給する純水供給手段20,22とを有する。砥石6の外径はウェーハWの外径よりも大きく、その研磨面はウェーハ研磨領域Kの1周部の全幅に亙って当接する。超砥粒の粒度は#60〜230とされている。

Claim (excerpt)：

プラテン上に貼付された研磨パッド上で複数枚のウェーハを回転させつつ研磨するウェーハ研磨装置に付設され、前記研磨パッドの表面をツルーイングするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置であって、超砥粒を金属めっき相で電着してなる円環状の砥粒層を有するツルーイング砥石と、前記砥粒層の研磨面を研磨パッドの表面に当接させた状態で前記ツルーイング砥石を回転自在に支持する砥石支持機構と、前記ツルーイング砥石をその軸線回りに回転させる砥石回転機構と、前記ツルーイング砥石と前記砥石回転機構との間に介装されてツルーイング砥石の傾動を許容する自動調芯型軸受と、前記ツルーイング砥石の内側から研磨面および研磨パッドの間に純水を供給する純水供給手段とを具備し、前記ツルーイングの研磨面の外径は、前記研磨パッドにより研磨されるべきウェーハの外径よりも大きく、前記砥石支持機構は、前記ツルーイング砥石の研磨面を、前記研磨パッド表面の円環状をなすウェーハ研磨領域の1周部の全幅に亙って当接させることを特徴とするウェーハ研磨パッドのツルーイング装置。