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J-GLOBAL ID:200903017702910078

気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中尾 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993273353
Publication number (International publication number):1994198123
Application date: Nov. 01, 1993
Publication date: Jul. 19, 1994
Summary:
【要約】【目的】気体中の気体汚染物質、ミストに溶解する汚染物質、固体微粒子を除去し、高清浄度の閉空間を形成する。【構成】気体を、陽イオンおよび陰イオン交換繊維、ならびにアルカリを添着した活性炭繊維を組合わせたフィルタを通過せしめ、さらにHEPAフィルタを通過させる。酸性ガスや有機気体などの気体汚染物質は主に活性炭層で、ミスト中に含まれる酸性物質、アルカリ性物質、あるいは活性炭層で生成した中性塩などは主にイオン交換繊維層において、固体微粒子はHEPAフィルタにより除去される。化学汚染防止に効果があり、たとえばクラス100よりもクリーン度が高いクリーンルームの浄化循環路や補充気体の導入路に利用すると効果的である。
Claim (excerpt):
気体を、イオン交換繊維層からなるフィルタを通過させて、気体中に含まれる汚染物質を除去することを特徴とする、気体の清浄化方法。
IPC (4):
B01D 53/34 ZAB ,  B01D 39/14 ZAB ,  B01D 46/52 ,  F24F 7/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開昭60-183022
  • 特開平4-247207
  • 特開昭50-062883
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