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J-GLOBAL ID：200903017728847358
透過型近接場走査型顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991359477
Publication number (International publication number)：1993181064
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】 透過型近接場走査型顕微鏡において、試料面からの散乱光の影響を除去しS/N比を向上させる。【構成】 試料台上に載置した試料の観察点に該試料台を介して裏面から照明光を照射する光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブ手段とを備えた透過型近接場走査型顕微鏡であって、前記プローブ手段として、2系統の光導波部をもつ光導波路を用い、前記2系統の光導波部の各先端部と試料面との距離を互いに異ならせるとともに、前記2系統の光導波部それぞれから検出された光強度の差に基づき観察出力を得る。
Claim (excerpt)：
試料台上に載置した試料の観察点に該試料台を介して裏面から照明光を照射する光照射手段と、前記試料に対し相対的に走査可能なプローブ手段とを備えた透過型近接場走査型顕微鏡であって、前記プローブ手段として、複数系統の光導波部をもつ光導波路を用いたことを特徴とする透過型近接場走査型顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
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