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J-GLOBAL ID：200903017742753358

透磁コアを有する誘導結合型-平面状プラズマの発生装置

Inventor： 藤井 修逸
Applicant, Patent owner： 株式会社アドテック
Agent (1)： 武石 靖彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996295826
Publication number (International publication number)：1998125496
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】 電波障害なく磁界変換効率の優れた誘導結合型-平面状プラズマの発生装置を提供しようとする。【解決手段】 プラズマ生成室3の上蓋4に近接し、一側面を前記プラズマ生成室の室内空間に対向して配置されたアンテナコイル8と、前記アンテナコイルに関する前記室内空間と反対の側において、前記アンテナコイルの導体を収納した溝7aを、前記室内空間に対向する下面に配列形成した強磁性体からなる透磁コア7とを備え、前記室内空間の下部に被処理物19を載置するサセプタ16を設けたものである。

Claim (excerpt)：

プラズマ生成室の上蓋に近接し、一側面を前記プラズマ生成室の室内空間に対向して配置されたアンテナコイルと、前記アンテナコイルに関する前記室内空間と反対の側において、前記アンテナコイルの導体を収納した溝を、前記室内空間に対向する下面に配列形成した強磁性体からなる透磁コアとを備え、前記室内空間の下部に被処理物を載置するサセプタを設けたことを特徴とする透磁コアを有する誘導結合型-平面状プラズマの発生装置。

IPC (6)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00

FI (6)：

H05H 1/46 A ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B