薄膜パターニング用基板

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：稲葉良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000076979
Publication number (International publication number)：2000353594
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】有機半導体膜や着色樹脂等の薄膜を形成する際、画素毎での膜厚のばらつきが著しく少ないEL素子やLED素子などの表示装置あるいはカラーフィルタなどを提供する。【解決手段】基板上に、所定高さのバンクにより区切られた被塗布領域にインクジェット法により形成された薄膜層を有する薄膜素子において、バンクの幅をa、高さをc、被塗布領域の幅をb、薄膜層を形成する液体材料の液滴径をdとするとき、バンクを、a>d/4、d/2<b<5d、c>t<SB>0</SB>(t<SB>0</SB>)は薄膜層の膜厚、c>d/(2b)の条件を満足するように基板上に形成する。また、無機材料で構成されるバンク形成面に有機材料でバンクを形成し、導入ガスをフッ素系としフッ素過多の条件下でプラズマ処理を行い、バンクで囲まれる領域に薄膜材料液を充填して薄膜層を形成する。さらに、有機物で形成したバンクを有する基板に、酸素ガスプラズマ処理後、フッ素系ガスプラズマ処理を行う。

Claim (excerpt)：

インクジェット法により薄膜をパターニング形成するために用いられる、所定の高さのバンクおよび該バンクにより区切られた被塗布領域が面上に形成された薄膜パターニング用基板において、前記バンクの幅をa(μm)、その高さをc(μm)とし、前記被塗布領域の幅をb(μm)とし、かつ、薄膜層を形成する液体材料のインクジェット液滴径をd(μm)とするとき、前記バンクが、(d/2)<b<5dを満足するように形成されていることを特徴とする薄膜パターニング用基板。

IPC (10)：

H05B 33/22 , G02B 5/20 101 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 310 , G09F 9/30 365 , G09F 9/33 , H01L 33/00 , H05B 33/10 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (10)：

H05B 33/22 Z , G02B 5/20 101 , G09F 9/00 338 , G09F 9/30 310 , G09F 9/30 365 Z , G09F 9/33 Z , H01L 33/00 M , H05B 33/10 , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

特開平4-121702
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-011258 Applicant：旭硝子株式会社
カラーフィルタの製造方法及びそれを用いた液晶表示素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-038405 Applicant：旭硝子株式会社

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