半導体記憶装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992191109
Publication number (International publication number)：1994037272
Application date： Jul. 17, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、接合リークやショート・チャネル効果を防止し得る半導体記憶装置を提供すること。【構成】Si基板1のメモリセル領域に形成された第1のMOSトランジスタの不純物拡散層7上に設けられ、この不純物拡散層7の不純物濃度より高い不純物濃度を有するエピタキシャルSi層9と、ビット配線層141 ,142 と同一工程で形成され、配線層141 ,142 と同じ材料からなる、周辺回路領域のMOSトランジスタの不純物拡散層7aのコンタクトホールを充填する充填層141a,142aとを備えていることを特徴とする半導体記憶装置。

Claim (excerpt)：

半導体基板のメモリセル領域に形成された第1のMOSトランジスタと、半導体基板の周辺回路領域に形成された第2のMOSトランジスタと、前記第1のMOSトランジスタの第1の不純物拡散層及び第2の不純物拡散層上に設けられ、前記第1の不純物拡散層及び前記第2の不純物拡散層の不純物濃度より高い不純物濃度を有するエピタキシャル層と、前記半導体基板上に設けられ、前記エピタキシャル層及び前記第2のMOSトランジスタの不純物拡散層上にコンタクトホールを有する層間絶縁膜層と、前記第1の不純物拡散層のエピタキシャル層上の前記コンタクトホールを充填する前記層間絶縁膜上に形成された配線層と、この配線層と同一工程で形成され、前記第2のMOSトランジスタの不純物拡散層上の前記コンタクトホールを充填する前記配線層と同じ材料からなる充填層と、前記第2の不純物拡散層と電気的に接続するキャパシタとを具備してなることを特徴とする半導体記憶装置。

IPC (2)：

H01L 27/108 , H01L 27/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

特開平3-049259
特開平2-151060
特開平4-093068

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