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J-GLOBAL ID：200903017818032345

過圧防止型差圧センサー及びその製造方法

Inventor： クリフォード ディ. ファング ,  ケビン エイチ. エル. チャウ ,  ピー.ロウ ハリス ,  ジョン ジー. パナゴウ ,  ゲイリー エー. ダールージ
Applicant, Patent owner： ザ フォックスボロ カンパニー
Agent (1)： 石田 喜樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992105429
Publication number (International publication number)：1994026963
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 集積回路バッチ処理技術を利用して、新しい過圧防止型圧力センサーを簡単且つ安価に製造する。【構成】 本発明の過圧防止型差圧センサーは、以下の工程に従って製造される。基板前面に形成され犠牲材が充填されている空胴上に、ダイアフラム材を析出させた後、犠牲材を取り除き、自由ダイアフラムを形成する。ここで、空胴の床部は第一(前方)圧力絞りとして作用し、ダイアフラム上面に掛かる圧力に応じたダイアフラムのたわみ量を制限する。次に、ダイアフラムの底面に圧力を伝えるポートを設ける。更に、必要に応じて、ダイアフラムの上面周囲に設置される支柱にキャップを固着することにより、ダイアフラムの底面に掛かる圧力に応じたダイアフラムのたわみ量を制限する第二(背圧)絞りを形成する。この場合、ダイアフラムの上面に圧力が伝わるように、所定の間隔を開けて支柱を配置する。

Claim (excerpt)：

床部が前方圧力絞りを規定する空胴をその頂面に有するシリコン基板と、前記空胴上に広がる変形可能なポリシリコンダイアフラムで、ダイアフラムの上側に掛かる圧力に応じた前記ダイアフラムのたわみが前記前方圧力絞りにより制限されるようなダイアフラムと、前記ダイアフラムの下側に圧力を掛けるための手段と、前記ダイアフラムの両側の圧力差によるダイアフラムの相対的なたわみを検出するための電気手段と、を備えることを特徴とする差圧センサー。

IPC (2)：

G01L 13/06 ,  G01L 19/06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭59-155971
  
• 特開昭60-079778
  

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-155971
  
• 特開昭60-079778