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J-GLOBAL ID：200903017820146587

密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法

Inventor： 嵯峨 幸一郎
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 土屋 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997145922
Publication number (International publication number)：1998321714
Application date： May. 20, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 雰囲気を極めて短い時間で且つ完全に置換することができる密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法を提供する。【解決手段】 可搬式密閉コンテナ11の筐体15の互いに対向する内側面に沿って拡がる拡散板31に小孔が設けられているので、窒素供給管25から窒素を供給すると共に排気管27から雰囲気を排出すると、層流である窒素の流れ29が形成される。このため、可搬式密閉コンテナ11を満たしていた雰囲気と窒素とが混合しにくく、雰囲気が窒素に押されて効率的に排出されると共に、窒素が極めて短い時間で可搬式密閉コンテナ11内の隅々まで行き渡る。

Claim (excerpt)：

互いに対向する第1及び第2の内面を有する筐体部と、前記第1及び第2の内面に垂直に板状体を保持すると共に前記筐体部と嵌合して密閉空間を形成する基部とを具備する密閉コンテナにおいて、前記第1及び第2の内面に沿って夫々広がる第1及び第2の壁部と、前記第1及び第2の壁部に設けられており前記第1及び第2の内面に沿って夫々分布する複数の通気孔とを具備することを特徴とする密閉コンテナ。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B65D 81/20 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/02

FI (4)：

H01L 21/68 T ,  B65D 81/20 E ,  H01L 21/02 D ,  B65D 85/38 L