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J-GLOBAL ID：200903017837937782

加速度計及びその製造方法

Inventor： 佐藤 一輝 ,  北條 武 ,  岡嶋 洋
Applicant, Patent owner： 株式会社トキメック
Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994297295
Publication number (International publication number)：1996160068
Application date： Nov. 30, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】 温度、衝撃、長時間の使用等によって出力信号に誤差が生ずることがない加速度計を提供することを目的とする。【構成】 梁11及び支持部材13は1枚の板材より形成される。支持部材13は梁11の周囲を囲むように延在し、梁11は支持部材13の固定部13Aにて片持ち支持されている。梁11及び支持部材13の上側及び下側にそれぞれスペーサ19A、19Bを介して上蓋41A及び下蓋41Bが装着されている。密閉空間45内には乾燥した不活性ガスが封入されており、斯かるガスは梁11の振動を減衰させるためのスクィーズダンパとして機能する。

Claim (excerpt)：

外力によって弾性変形可能な梁と、該梁を片持ち支持する支持部材と、上記梁の変形を共振周波数の変化として検出するための検出部とを有し、上記梁の変形を検出することによって加速度を求めるように構成された加速度計において、上記梁と上記支持部材は一体物として1枚の板材より形成されたことを特徴とする加速度計。