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J-GLOBAL ID：200903017854836256

感光性ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法

Inventor： 野村 秀史 ,  江口 益市 ,  浅野 昌也
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992211367
Publication number (International publication number)：1994102667
Application date： Aug. 07, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸、光反応性を有する炭素-炭素不飽和結合を含有する化合物、および光重合開始剤を主成分とする感光性ポリイミド前駆体組成物である。【効果】本発明の感光性ポリイミド前駆体組成物は、有害な副生成物を生じることなしに製造することができる。また、この組成物より形成した膜にパターンマスクをし、露光および現像液による現像を行うとき、未露光部が現像液によって溶解除去されるまでの露光部の現像液への溶解量が少なく、厚膜パターンを得ることができる。そして、これを加熱処理することによって、ポリイミドの厚膜パターンを得ることができる。

Claim (excerpt)：

(a)分子末端の少なくとも一方がアルコールの酸エステルとなっているポリアミド酸、(b)光反応性を有する炭素-炭素不飽和結合を含む化合物、および(c)光重合開始剤を含有してなることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (5)：

G03F 7/027 514 ,  C08G 73/10 NTH ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-077741
  
• 特開平4-070661
  
• 特開平4-130323
  
• 特開平4-289863