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J-GLOBAL ID：200903017860773061

ATカット水晶の加工方法

Inventor： 近野 仁志 ,  石井 修 ,  森田 孝夫
Applicant, Patent owner： 東洋通信機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993254733
Publication number (International publication number)：1995082100
Application date： Sep. 16, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】エッチング面を水晶素板主表面に対してほぼ直角な平面とすると共に貫通部におけるエッチング面間の距離を接近せしめること可能なATカット水晶のエッチング加工方法を提供することを目的とする。【構成】ATカット水晶素板の+Y′軸側の第1および-Y′軸側の第2の主表面上に所定パターンの耐食膜を付着し、該耐食膜の開口部同士をエッチングにより貫通せしめる際、第1の主表面側耐食膜開口部の+Z′軸側端部Aと第2の主表面側の耐食膜開口部の-Z′軸側端部Bとを結ぶ線がほぼZ軸方向と平行であって、第1の主表面側耐食膜開口部の-Z′軸側端部Cが前記Bと相対向する位置B′より+Z′軸側に、第2の主表面側の耐食膜開口部の+Z′軸側端部Dが前記Aと相対向する位置A′より-Z′軸側に位置するよう前記耐食膜を配置した上でエッチングを施す。

Claim (excerpt)：

ATカット水晶素板の+Y′軸側の第1および-Y′軸側の第2の主表面上に所定パターンの耐食膜を付着して行なうエッチング加工方法において、両主表面に付着した耐食膜の開口部同士をエッチングにより貫通せしめる際、第1の主表面側耐食膜開口部の+Z′軸側端部Aと第2の主表面側の耐食膜開口部の-Z′軸側端部Bとを結ぶ線がほぼZ軸方向と平行であって、第1の主表面側耐食膜開口部の-Z′軸側端部Cが前記第2の主表面側端部Bと相対向する位置B′より+Z′軸側に、第2の主表面側の耐食膜開口部の+Z′軸側端部Dが前記第1の主表面側端部Aと相対向する位置A′より-Z′軸側に位置するよう前記耐食膜を配置した上でエッチングを施し、前記開口部同士が貫通した後も所定時間エッチングを継続することにより基板主表面に対してほぼ直角なエッチング面を形成することを特徴とするATカット水晶の加工方法。

IPC (2)：

C30B 33/08 ,  H03H 3/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭57-157616
  
• 特開平1-179513
  
• 特開昭57-157616
  
• 特開平1-179513