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J-GLOBAL ID：200903017885415763
スピン洗浄乾燥装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
栂村 繁郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992304350
Publication number (International publication number)：1994126264
Application date： Oct. 19, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：
【要約】【目的】 エアー取込量を調整する。【構成】 筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変エアーシャワー板を回転できるように設け、スピンカップに排出管を設けて気液分離器と排気量を調整するダンパーを介して排気ブロアーで吸引するスピン洗浄乾燥装置。
Claim (excerpt)：
筺体内をスピンカップで上下に仕切り、上部において、被洗浄物をスピンチャックで保持するステージを回転させて被洗浄物の上下から上下部リンスノズルでリンス液を放射して洗浄を行い、その後、被洗浄物を高速回転させて乾燥させるスピン洗浄乾燥装置において、筺体の蓋をする取入口を多数設けたエアーシャワー板の上面に同様形状の取入口を多数設けた可変用エアーシャワー板を回転できるように設けたことを特徴とするスピン洗浄乾燥装置。
IPC (2)：
B08B 11/02
, H01L 21/304 341
