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J-GLOBAL ID：200903017901248392

水晶振動子及びその製造方法

Inventor： 小田 精司 ,  上原 博 ,  梅木 三十四
Applicant, Patent owner： 日本電波工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002198325
Publication number (International publication number)：2004040693
Application date： Jul. 08, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【目的】振動特性にバラツキの少ない特に高周波帯の水晶振動子を提供する。【構成】貫通孔を有する第1水晶片と平板状の第2水晶片とを直接接合によって張り合わせてなり、外周部よりも厚みの小さい振動領域を有する水晶振動子であって、前記貫通孔は、前記外周部に保護膜を設け、前記貫通孔となる領域に微細粉体を吹き付けて形成された構成とする。さらには、これらの水晶振動子を水晶ウェハから一体的に写真技術によるエッチングを用いた製造方法とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

貫通孔を有する第1水晶片と平板状の第2水晶片とを直接接合によって張り合わせてなり、外周部よりも厚みの小さい振動領域を有する水晶振動子であって、前記貫通孔は、前記外周部に保護膜を設け、前記貫通孔となる領域に微細粉体を吹き付けて形成された水晶振動子。

IPC (2)：

H03H3/02 ,  H03H9/19

FI (2)：

H03H3/02 C ,  H03H9/19 D

F-Term (6)：

5J108BB02 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11