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J-GLOBAL ID：200903017922635000

ダイヤモンド上の窒化ガリウム発光デバイス

Inventor： リネアス,ロバート,シー.
Applicant, Patent owner： アポロ ダイヤモンド,インク
Agent (2)： 大菅 義之 ,  ▲徳▼永 民雄
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007552409
Publication number (International publication number)：2008528420
Application date： Jan. 26, 2006
Publication date： Jul. 31, 2008
Summary：

白熱灯および蛍光灯の代用品としての発光ダイオードなどのためにダイヤモンド基板上に窒化ガリウムデバイスを形成する。一つの実施形態として、少なくとも2つの方法でダイヤモンド上に窒化ガリウムダイオード(もしくは他のデバイス)を形成する。第1の方法は、ダイヤモンド上に窒化ガリウムを成長させ、その窒化ガリウム層にデバイスを設けることを含んでいる。第2の方法は、ダイヤモンド上に窒化ガリウム(デバイスもしくはフィルム)を接合し、接合した窒化ガリウム上にデバイスを設けることをともなっている。これらのデバイスは、白熱光や蛍光よりもかなり効率がよく、他の技術よりも光密度もしくはエネルギー密度がかなり高い。同様の方法および同様の構造により他の窒化ガリウム半導体デバイスをつくることができる。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

最上面のコンプライアント(compliant)層を形成するためにダイヤモンド基板内にH2を注入するステップと、 前記H2を注入したダイヤモンド基板上にGaN層を成長させるステップと、 を含むことを特徴とする方法。

IPC (9)：

C30B 29/38 ,  C30B 25/18 ,  C30B 29/04 ,  C23C 16/34 ,  C23C 14/48 ,  C01B 31/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 33/00 ,  H01L 21/20

FI (9)：

C30B29/38 D ,  C30B25/18 ,  C30B29/04 W ,  C23C16/34 ,  C23C14/48 A ,  C01B31/06 Z ,  H01L21/205 ,  H01L33/00 C ,  H01L21/20

F-Term (108)：

4G077AA03 ,  4G077BE15 ,  4G077CG01 ,  4G077DA05 ,  4G077DB05 ,  4G077DB08 ,  4G077DB18 ,  4G077DB19 ,  4G077DB25 ,  4G077EB10 ,  4G077ED06 ,  4G077EE08 ,  4G077EF01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077HA14 ,  4G077HA15 ,  4G077QA01 ,  4G077QA27 ,  4G077QA71 ,  4G077QA75 ,  4G077SA04 ,  4G077SC02 ,  4G077TA04 ,  4G077TB03 ,  4G077TB05 ,  4G077TB07 ,  4G077TB08 ,  4G077TC14 ,  4G077TC16 ,  4G077TC19 ,  4G077TE02 ,  4G077TK02 ,  4G146AA04 ,  4G146AB07 ,  4G146AD20 ,  4G146AD30 ,  4G146BA01 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA31 ,  4K029BA58 ,  4K029BC07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA02 ,  4K029CA10 ,  4K030AA03 ,  4K030AA08 ,  4K030AA11 ,  4K030AA13 ,  4K030BA08 ,  4K030BA27 ,  4K030BA38 ,  4K030BA39 ,  4K030BB02 ,  4K030BB12 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030HA02 ,  4K030LA18 ,  5F041AA04 ,  5F041AA47 ,  5F041CA03 ,  5F041CA33 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA49 ,  5F041CA57 ,  5F041CA63 ,  5F041CA65 ,  5F041CA66 ,  5F041CA74 ,  5F041CA77 ,  5F041FF11 ,  5F045AA01 ,  5F045AA03 ,  5F045AA04 ,  5F045AA15 ,  5F045AB07 ,  5F045AB14 ,  5F045AB15 ,  5F045AC01 ,  5F045AC03 ,  5F045AC07 ,  5F045AC12 ,  5F045AF02 ,  5F045DA53 ,  5F152LL03 ,  5F152LL05 ,  5F152LL09 ,  5F152LL13 ,  5F152LM09 ,  5F152LN02 ,  5F152LP02 ,  5F152MM01 ,  5F152MM02 ,  5F152MM03 ,  5F152MM09 ,  5F152MM10 ,  5F152NN02 ,  5F152NN22 ,  5F152NQ02 ,  5F152NQ03 ,  5F152NQ04 ,  5F152NQ05 ,  5F152NQ06 ,  5F152NQ09