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J-GLOBAL ID：200903017929941271

粗い表面を有するシリカガラスおよびその製造方法

Inventor： 稲木 恭一 ,  瀬川 徹
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994259636
Publication number (International publication number)：1996104541
Application date： Sep. 30, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【構成】マイクロクラックがなく表面粗さRmaxが20〜100μmであるシリカガラス、およびシリカガラス表面に硬質粉状物を吹き付けて表面粗さRmaxを5〜50μmとしたのち、フッ酸溶液で処理する前記シリカガラスの製造方法。【効果】本発明のシリカガラスはマイクロクラックの発生がなく、良好な粗い表面を有しており赤外線の散乱反射がよく、かつ表面が安定している。そのため本発明のシリカガラスで作成した電気炉は熱効率が良く、またシリコンウエーハ熱処理用の炉芯管やボートはそれに付着した酸化膜等による治具のヒビ割れがなく半導体工業用治具材料として好適なものであった。

Claim (excerpt)：

マイクロクラックがなく表面粗さRmaxが20〜100μmであることを特徴とする粗い表面を有するシリカガラス。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭54-069120
  
• 模様形成結晶化ガラス材およびその製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-059454   Applicant：麒麟麦酒株式会社
• 特開平1-219043
  
• 特開昭57-144666