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J-GLOBAL ID:200903017943979796
紫外線検知素子
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991308410
Publication number (International publication number):1993129648
Application date: Oct. 28, 1991
Publication date: May. 25, 1993
Summary:
【要約】【目的】 シリコン超微粒子結晶体が紫外線によるホトルミネツセンス効果により赤色光を発光することを利用して紫外線の検出感度を向上させる。【構成】 赤色光に対して高い感度を有するシリコン光検知素子6の上部に、紫外線によるホトルミネツセンス効果により赤色光を発するシリコン超微粒子結晶体20を形成する。そして、紫外線22の入射によってシリコン超微粒子結晶体20から発せられる赤色光24をシリコン光検知素子6により検出することにより、紫外線の入射を間接的に検知する。
Claim (excerpt):
紫外線によって発光するシリコン超微粒子結晶体と、前記シリコン超微粒子結晶体からの発光を感知するシリコン光検知素子とを備えるように構成したことを特徴とする紫外線検知素子。
IPC (2):
FI (2):
H01L 31/10 A
, H01L 31/00 A
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