面位置検出装置およびデバイス製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999320918
Publication number (International publication number)：2001143991
Application date： Nov. 11, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】より短時間で精確に面位置検出を行うことができるようにする。【解決手段】光照射により面位置を検出するための光学式検出系15、16と、静電容量により面位置を検出するための静電容量センサ26と、被検出面についての光学式検出系および静電容量センサによる面位置検出結果に関する情報を記憶する記憶手段24とを備える。静電容量センサによる面位置検出の際には、静電容量センサを被検出面の垂直方向に移動させて被検出面の近傍に位置させる。

Claim (excerpt)：

光照射により面位置を検出するための光学式検出系と、静電容量により面位置を検出するための静電容量センサと、被検出面についての前記光学式検出系および静電容量センサによる面位置検出結果に関する情報を記憶する記憶手段とを具備することを特徴とする面位置検出装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 , G01B 7/00 , G01B 11/00 , G03F 9/02

FI (4)：

G01B 7/00 K , G01B 11/00 A , G03F 9/02 H , H01L 21/30 526 B

F-Term (31)：

2F063AA02 , 2F063BB06 , 2F063BC06 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063DD08 , 2F063HA04 , 2F063KA01 , 2F065AA02 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065FF44 , 2F065FF67 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 5F046BA03 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046DA01 , 5F046DA14 , 5F046DB01 , 5F046DB04 , 5F046DB05 , 5F046DB11 , 5F046DC10 , 5F046DC12 , 5F046DD03 , 5F046DD06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

測定プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-182818 Applicant：株式会社ニコン
特開平3-187211
特開昭62-094809

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Cited by examiner (5)

測定プローブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-182818 Applicant：株式会社ニコン
特開平3-187211
特開昭62-094809

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