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J-GLOBAL ID：200903017962084473

プログラム可能であり空間的に光変調された顕微鏡および顕微鏡による方法

Inventor： トーマス・エム・ヨフィン ,  クウェンティン・ハンレイ ,  ペーター・フェアフェール
Applicant, Patent owner： マツクス-プランク-ゲゼルシャフト ツール フエルデルング デル ヴイツセンシャフテン エー フアウ
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998301003
Publication number (International publication number)：1999194275
Application date： Oct. 22, 1998
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、高い空間的解像度と高い光効率で迅速にデータを得ることのできる共焦点光イメージシステムおよび方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光源310 と、2次元検出器カメラを有する検出手段350, 360と、第1および第2のグループの変調器素子321a, 321bを有する空間的光変調器手段320 とを具備し、変調器素子の第1のグループ321aは、物体の共役位置341 に焦点を結ばれた照射スポットの予め定められたパターンシーケンスにしたがって被検物体を照射するように構成され、共役位置341 のc からの検出光は検出器351において第1の画像Ic を形成し、変調器素子の第2のグループ321bは物体の非共役位置ncで光を集めるように構成され、非共役位置ncからの検出光は検出器361 において第2の画像Incを形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

光源手段と、少なくとも1つの2次元検出器カメラを有する検出器手段と、変調器素子の第1および第2のグループを有する空間的光変調器手段とを具備し、変調器素子の第1のグループは、物体の位置を共役するように焦点を結ばれた照射スポットの予め定められたパターンシーケンスにしたがって、検査されるべき物体を照射するように構成され、共役位置からの検出光は検出器手段において第1の画像Ic を形成する共焦点光イメージシステムにおいて、素子の第2のグループは物体の非共役位置で光を集めるように構成され、非共役位置からの検出光は検出器手段において第2の画像Incを形成することを特徴とする共焦点光イメージシステム。