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J-GLOBAL ID：200903017985032217

感光性組成物

Inventor： 左々 信正 ,  秋山 健夫
Applicant, Patent owner： コニカ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993016550
Publication number (International publication number)：1994230569
Application date： Feb. 03, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高感度で貯蔵安定性のよい感光性組成物の提供。【構成】 特定のビスアクリジニウム塩の少なくとも一つを含有することを特徴とする感光性組成物。

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表される化合物の少なくとも一つを含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】式中、R1は置換又は無置換のアルキル基、アルケニル基、アリール基又はアラルキル基を表し、R3、R4は、それぞれ同じか又は異なってもよく水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基又はハロゲン原子を表す。R2はアルキレン基、オキサジアルキレン基、又はチオジアルキレン基を表し、Xはアニオンを表す。

IPC (4)：

G03F 7/031 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027