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J-GLOBAL ID：200903017993391250

共焦点型三次元計測装置及び高さ計測方法

Inventor： 中嶋 恵治 ,  田中 均 ,  小坂 宣之
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 田澤 博昭 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994028360
Publication number (International publication number)：1995239216
Application date： Feb. 25, 1994
Publication date： Sep. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 共焦点光学系を用いた三次元計測装置において、被計測物体を移動させることなく、高速,高精度に三次元計測可能な手段を提供する。【構成】 共焦点光学系を用いた三次元計測装置において、一対のピンホール6と受光量検出器7を光軸方向に移動させ、受光量検出器7の受光量が最大となる光路長と予め設定された光路長と受光量の対応関係を示す特性から被計測物体1の高さを演算するものである。

Claim (excerpt)：

照明光を集束して被計測物体に照射すると共にその被計測物体からの反射光を集光する集光レンズと、その集光レンズによって集光された反射光を集束する結像レンズと、その結像レンズによって集束された反射光をピンホールを介して受光しその受光量を検出する受光量検出器と、上記集光レンズから上記ピンホールまでの光路長を可変にする光路長可変手段と、複数の異なる光路長に対応した上記受光量検出器によって検出された受光量と予め設定された光路長に対応した受光量の特性とに基づいて上記被計測物体の光軸方向の高さを演算する高さ演算器と、上記被計測物体と照明光の集束位置を光軸と垂直方向に相対的に移動させる集束位置移動手段とを備えた共焦点型三次元計測装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/02 ,  G01C 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 光学式非接触厚み測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-195782   Applicant：精電舎電子工業株式会社
• 光学式間隔センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-248620   Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• 立体形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-235239   Applicant：興和株式会社
• パターン位置測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-052415   Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (4)

• 光学式非接触厚み測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-195782   Applicant：精電舎電子工業株式会社
• 光学式間隔センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-248620   Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
• 立体形状測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-235239   Applicant：興和株式会社
• パターン位置測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-052415   Applicant：株式会社ニコン