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J-GLOBAL ID：200903017997958603

感光性樹脂組成物

Inventor：
市川 幸司

About 市川 幸司


Applicant, Patent owner：
住友化学株式会社

About 住友化学株式会社


Agent (3)： 久保山 隆 ,  中山 亨 ,  榎本 雅之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004197719
Publication number (International publication number)：2005049842
Application date： Jul. 05, 2004
Publication date： Feb. 24, 2005
Summary：
【課題】 塗布性良好で、表面荒れおよび透過率低下がなく、微細なパターンまで解像可能であることから抜け性が良好であり、さらに、フォトスペーサーのような細いパターンを残すこともできる新たな感光性樹脂組成物を提供する【解決手段】 バインダーポリマー(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー(A)が式(I)で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式(I)で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー(A)を構成する全構成単位に対して、モル分率で、5モル%以上20モル%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。[式(I)中、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。]【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
バインダーポリマー(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含む感光性樹脂組成物において、バインダーポリマー(A)が式(I)で表される構成単位を含んで構成される重合体であり、式(I)で表される構成単位の含有量が、バインダーポリマー(A)を構成する全構成単位に対して、モル分率で、5モル%以上20モル%以下であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2)：
G03F7/038 ,  G02B5/20
FI (2)：
G03F7/038 501 ,  G02B5/20 101
F-Term (23)：
2H025AA02 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025BC81 ,  2H025BC86 ,  2H025BC93 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CC03 ,  2H025EA04 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB08 ,  2H048BB10 ,  2H048BB42
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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