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J-GLOBAL ID：200903018036368766

投影露光装置

Inventor： 金子 謙一郎 ,  立野 博貴
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996201247
Publication number (International publication number)：1998027752
Application date： Jul. 11, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 開口絞りを変更する際に生じる倍率、フォーカス、ディストーション、露光量の変化量を自動的に補正すること。【解決手段】 回転駆動機構64により開口絞り板48が回転され、ある開口絞りから別の開口絞りに切替え設定されると、主制御装置16ではハードディスク68からその開口絞りに対応した倍率補正値、フォーカス補正値、ディストーション補正値、露光量制御補正値を読み出し、これらの補正値に基づいて倍率調整手段(22、26)、ディストーション調整手段(24)、フォーカス調整手段(30、32、34、18)及び露光量調整手段(62、42)を制御する。従って、開口絞りを変更する際に生じる結像特性(倍率等)や露光量の変化分が自動的に補正される。

Claim (excerpt)：

露光光によりマスクを照明し、マスク上のパターンの像を投影光学系を介して感光基板上に露光転写する投影露光装置であって、形状又は大きさの異なる複数の開口絞りを照明光の光路上に切替え設定する開口絞り切替設定手段と;前記開口絞り切替設定手段による前記開口絞りの切替えに連動して開口絞りの切替えに伴う結像特性及び露光量の変動量を補正する補正手段とを有する投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 516 D