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J-GLOBAL ID：200903018050155600
カンチレバー及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994308568
Publication number (International publication number)：1996166390
Application date： Dec. 13, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：
【要約】【目的】 探針の孔の形成に単品加工でなくバッチプロセスを採用することができ、製造コストの低いカンチレバーを提供する。【構成】 薄膜状梁部1の先端側領域には、開口1aが形成されている。薄膜状梁部1は支持体2より支持されている。薄膜状梁部1の開口1aの周囲には、開口1aを囲むように実質的に錘状の探針3が突設されている。探針3は、探針3の頂点部から薄膜状梁部1の開口1aに連通する孔4を有する。探針3は、シリコンの熱酸化による酸化珪素により構成されている。
Claim (excerpt)：
先端側領域に開口が形成された薄膜状梁部と、該薄膜状梁部の前記開口の周囲に前記開口を囲むように突設された実質的に錘状の探針であって、該探針の頂点部から前記薄膜状梁部の前記開口に連通する孔を有する探針と、を備え、前記探針がシリコンの熱酸化による酸化珪素により構成されたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (3)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
