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J-GLOBAL ID：200903018069042076

集積回路検査装置

Inventor： 今井 克行
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991316357
Publication number (International publication number)：1993150004
Application date： Nov. 29, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 安価な装置で、速く正確に集積回路を検査することにある。【構成】 集積回路検査装置は、集積回路9を載置するための載置台3と、集積回路9を検査するための1対の微細接触針14a,14bを有するマイクロマニピュレータとを備えている。

Claim (excerpt)：

集積回路を載置するための載置台と、前記集積回路を検査するための1対の微細接触針を有するマイクロマニピュレータと、を備えた集積回路検査装置。

IPC (2)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/02

FI (2)：

G01R 31/28 K ,  G01R 31/28 J