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J-GLOBAL ID：200903018081232344

走査型レーザ変位計

Inventor： 與島 政幸
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992009622
Publication number (International publication number)：1993209719
Application date： Jan. 23, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】走査型レーザ変位計で反射率変動や形状変化に伴う光量変動の大きい対象物に対して、ほぼ一定の受光量で安定して高いSIN比で高さを計測する。【構成】一軸ステージを有する測定台1と、半導体レーザ2のレーザ光をビーム拡大器3、スキャナ4、fθレンズ5および反射ミラー6とで走査する走査光学系と、集光レンズ7,8と光位置検出素子9とで構成される受光光学系と、光位置検出素子9の受光位置から高さを求める高さ演算回路11および光量データから半導体レーザ2のパワーを制御するパワー変調回路12とで構成される信号処理回路10とを備えている。【効果】一走査前の光量データをもとに次の走査における半導体レーザのパワーを変調することにより、光量がランダムに変動する対象物に対してもほぼ一定の光量レベルで安定して高精度で高さ測定できる。

Claim (excerpt)：

1.一軸ステージを有し測定対象物を載置する測定台2.半導体レーザと、前記半導体レーザのビーム径を所要のビーム径に拡大するビーム拡大器と、前記ビーム拡大器で拡大されたレーザ光を前記測定台の送り方向と直交する方向に走査するスキャナと、前記スキャナで走査されたレーザ光を前記測定台の測定面上で所要のビーム径に収束しかつ一定の走査速度で走査軌跡が前記測定台の送り方向と直交するように配置されたfθレンズとで構成される走査光学系3.前記測定台の斜め上方から前記測定対象物からの反射光を集光する集光レンズと、前記集光レンズで集光されたレーザ光を焦点位置で受光する光位置検出素子とで構成される受光光学系4.所定のサンプリング時間で前記光位置検出素子の出力を取り込み、受光位置から高さを求める高さ演算回路と、一走査前の前記光位置検出素子の受光量である光量データP(i)および前記半導体レーザの駆動電流であるLD駆動電流データI(i)をもとに基準光量をPo、前記半導体レーザのしきい電流値をIthとしてI’(i)=Po/P(i)×(I(i)-Ith)+Ith(但し、I’(i)は前記半導体レーザの許容駆動電流以下)から求まるLD駆動電流I’(i)で前記半導体レーザの出力をパワー変調する半導体レーザ変調回路とで構成される信号処理回路とを備えることを特徴とする走査型レーザ変位計。

IPC (2)：

G01B 11/00 ,  G01C 3/06