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J-GLOBAL ID:200903018096859521
半導体受光素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
川瀬 茂樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000232832
Publication number (International publication number):2002050785
Application date: Aug. 01, 2000
Publication date: Feb. 15, 2002
Summary:
【要約】【課題】 二つの波長λ2、λ1(λ2>λ1)を用いる光送受信系における長波長λ2を感受する裏面入射型のPDにおいて、λ1とのクロストークを低減したPD構造を与える。【解決手段】λ1とλ2の中間のバンドギャップ波長λgを有する材料を受光層として設け、受光層の上にλ2を吸収する吸収層を設け、一旦受光層を通ったλ2が再び受光層を通らないようにしている。
Claim (excerpt):
長波長光λ2と短波長光λ1を含む光を受けて短波長光λ1を検知すべき裏面入射型の半導体受光素子であって、半導体基板とこの上に設けられpn接合を有する受光層と、受光層の上面に設けられるキャップ層と、半導体基板の底面に設けた開口を有する第1電極と、受光層の上方に設けた開口を有する第2電極を含み、光は裏面から表面へ透過できるよう両面が開口部を有し、受光層がλ1より長くλ2より短い吸収端波長(バンドギャップ波長)λgを持つ半導体材料からなり、受光層の上部にはλ2光を吸収する材料からなるλ2吸収層を設けたことを特徴とする半導体受光素子。
IPC (3):
H01L 31/10
, G02B 6/42
, H01L 31/0232
FI (3):
G02B 6/42
, H01L 31/10 A
, H01L 31/02 C
F-Term (28):
2H037AA01
, 2H037BA02
, 2H037BA11
, 2H037DA03
, 2H037DA04
, 2H037DA06
, 2H037DA40
, 5F049MA02
, 5F049MB07
, 5F049MB12
, 5F049NA04
, 5F049NB01
, 5F049PA04
, 5F049QA03
, 5F049QA06
, 5F049SS04
, 5F049SZ01
, 5F049TA14
, 5F049WA01
, 5F088AA02
, 5F088AB07
, 5F088AB17
, 5F088BA03
, 5F088CB04
, 5F088GA05
, 5F088HA01
, 5F088JA14
, 5F088LA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (19)
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特開平2-188971
-
特開昭50-144395
-
特開昭56-024969
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受光素子及び受光素子モジュ-ル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-256107
Applicant:住友電気工業株式会社
-
半導体受光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-160233
Applicant:三菱電機株式会社
-
特開平2-106979
-
特開平2-119273
-
特開平2-214171
-
特開平3-018069
-
特開平3-201571
-
光受信モジュ-ル及び光送受信モジュ-ル
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-347705
Applicant:住友電気工業株式会社
-
光学レンズ機能付き半導体デバイス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-054011
Applicant:中田仗祐
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特開昭50-084189
-
特開昭53-099889
-
特開昭55-016479
-
特開昭59-063779
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特開昭60-115269
-
特開昭60-251678
-
半導体受光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-048590
Applicant:沖電気工業株式会社
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