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J-GLOBAL ID：200903018112151518
固体撮像装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
最上 健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994300097
Publication number (International publication number)：1996139300
Application date： Nov. 10, 1994
Publication date： May. 31, 1996
Summary：
【要約】【目的】 平坦化膜と光導波路との接合面において入射光の散乱を低減できるようにした、マイクロレンズと光導波路を備えた固体撮像装置を提供する。【構成】 CMDからなる受光部上に絶縁層6を形成したのち、受光部上の絶縁層6の一部に光導波路用の穴10を形成し、絶縁層6の屈折率よりも高屈折率を有し平坦化層の屈折率との差が0.2 以下の屈折率をもつ材料を塗布して、光導波路10aと光導波路コア膜11を形成し、全面に平坦化層13を形成したのち、マイクロレンズ14を光導波路10aの直上に形成して固体撮像装置を構成する。
Claim (excerpt)：
ホトダイオードを含む画素を1次元あるいは2次元状に多数配置した受光部と、該受光部上に形成された絶縁層とを有し、少なくとも前記ホトダイオード上の絶縁層の一部に、受光部の受光面に対して垂直に光導波路を設けると共に、該光導波路の上部に平坦化膜を介してオンチップマイクロレンズを形成し、該オンチップマイクロレンズの焦点が前記光導波路の光入射面近辺に存在するように構成した固体撮像装置において、前記光導波路は、前記平坦化膜の屈折率との差が0.2 以下であって、且つ前記絶縁層との境界面において入射光の全反射が生じるような該絶縁層との屈折率差となる高屈折率材料で形成されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2)：
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