Pat
J-GLOBAL ID:200903018122109110
窒化物系半導体レーザ素子
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
宮園 博一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002063164
Publication number (International publication number):2003264346
Application date: Mar. 08, 2002
Publication date: Sep. 19, 2003
Summary:
【要約】【課題】不純物元素が深く導入されるのを抑制することにより製造歩留まりを向上することが可能な窒化物系半導体レーザ素子を提供する。【解決手段】この窒化物系半導体レーザ素子は、MQW発光層4と、MQW発光層4上に形成され、Al0.08Ga0.92Nからなるp型クラッド層5と、p型クラッド層5上に形成され、In0.05Ga0.95Nからなるp型コンタクト層7と、p型クラッド層5およびp型コンタクト層7の電流通過領域9以外の領域の少なくとも一部に、不純物元素を導入することにより形成された不純物注入層8とを備えている。
Claim (excerpt):
発光層と、前記発光層上に形成され、Alを含有する第1窒化物系半導体層を含む第1導電型のクラッド層と、前記クラッド層上に形成され、Inを含有する第2窒化物系半導体層を含む第1導電型のコンタクト層と、前記クラッド層および前記コンタクト層の電流通過領域以外の領域の少なくとも一部に、不純物元素を導入することにより形成された不純物導入層とを備えた、窒化物系半導体レーザ素子。
IPC (2):
H01S 5/323 610
, H01S 5/22 610
FI (2):
H01S 5/323 610
, H01S 5/22 610
F-Term (8):
5F073AA07
, 5F073AA13
, 5F073AA74
, 5F073CA07
, 5F073CB10
, 5F073CB19
, 5F073DA14
, 5F073EA29
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (14)
-
3族窒化物半導体発光素子およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-212675
Applicant:豊田合成株式会社, 株式会社豊田中央研究所
-
半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-233179
Applicant:ローム株式会社
-
半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-098230
Applicant:松下電器産業株式会社
-
半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-023452
Applicant:ヒューレット・パッカード・カンパニー
-
特開平2-214185
-
化合物半導体素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-016825
Applicant:株式会社東芝
-
窒化物化合物半導体発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-036263
Applicant:株式会社東芝
-
半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-253247
Applicant:日本電気株式会社
-
半導体レーザ素子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-250704
Applicant:富士ゼロックス株式会社
-
窒化物系半導体素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-037990
Applicant:株式会社東芝
-
窒化物系半導体素子及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-318148
Applicant:株式会社東芝
-
窒化物系半導体素子、窒化物系発光素子及び窒化物系半導体層の形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-219966
Applicant:三洋電機株式会社
-
半導体レ-ザダイオ-ドおよび製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-370675
Applicant:三菱電機株式会社
-
半導体発光装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-328397
Applicant:富士通株式会社
Show all
Return to Previous Page