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J-GLOBAL ID：200903018163928207

処理装置

Inventor： 上田 庸一 ,  小美野 光明
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 浅井 章弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993048541
Publication number (International publication number)：1994244143
Application date： Feb. 15, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 温度調整用ヒータに熱衝撃等に強い窒化アルミニウムを絶縁体として用いた処理装置を提供する。【構成】 処理容器4内に、チャック部22と冷却手段16を有する載置台8を収容してなる処理装置において、チャック部と冷却手段16との間に伝達する冷熱を調整する温度調整用ヒータ52を設け、このヒータの絶縁体56として熱衝撃に強い窒化アルミニウムを用い、この絶縁体を破壊することなくチャック部に吸着する被処理体Wの急激な温度変化を可能ならしめる。

Claim (excerpt)：

処理容器内に、上部に被処理体を吸着保持するチャック部を有すると共に下部に前記被処理体を冷却する冷却手段を有する載置台を収容してなる処理装置において、前記チャック部と前記冷却手段との間に、前記被処理体へ供給される冷熱を調整するために窒化アルミニウムを絶縁体として用いた温度調整用ヒータを設けたことを特徴とする処理装置。

IPC (5)：

H01L 21/302 ,  C23C 14/34 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/203