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J-GLOBAL ID：200903018166986100

吸収特性測定方法およびそのための装置

Inventor： 押川 識
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995280693
Publication number (International publication number)：1997127065
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】物体の吸収特性を直接測定するための方法であって、ルーチンワークに適し、再現性良く精密な測定ができる方法を提供する。【解決手段】被測定物に光を照射し、被測定物に吸収された光が無輻射遷移で熱に変換されるときまたは熱に変換された後に発生する弾性波のうちの表面波を探針によって検出することにより、被測定物の光吸収特性を測定する。

Claim (excerpt)：

物体の光吸収特性を測定する方法であって、被測定物に光を照射し、光が被測定物に吸収されて発生する弾性波のうちの表面波を検出することにより、被測定物の光吸収特性を測定することを特徴とする光吸収特性測定方法。

IPC (2)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00

FI (2)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 A