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J-GLOBAL ID：200903018173146436

キャリアカセット

Inventor： 矢満田 勉 ,  本間 則秋 ,  村松 尚
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993163035
Publication number (International publication number)：1995017589
Application date： Jul. 01, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ウェーハの洗浄時の洗浄効果と乾燥時の乾燥効果とを向上させるキャリアカセットを提供する。【構成】 キャリアカセット1の枠組みである本体2と、ウェーハ5を仕切る仕切り板3とから構成され、前記仕切り板3に凸状のウェーハ保持手段4が設けられるものである。前記ウェーハ保持手段4は、フッ素樹脂などからなる半球状のものであり、ウェーハ5を両面から保持できるように、前記仕切り板3の両面に設けられるものである。

Claim (excerpt)：

ウェーハの洗浄時や乾燥時に、前記ウェーハを収容するキャリアカセットであって、前記キャリアカセットの枠組みである本体と、前記ウェーハを仕切る仕切り板とから構成され、前記仕切り板の該ウェーハとの接触部に凸状のウェーハ保持手段が設けられることを特徴とするキャリアカセット。

IPC (4)：

B65D 85/57 ,  B65D 85/00 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68