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J-GLOBAL ID：200903018202573942
半導体ウエハの位置決め機構
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992088211
Publication number (International publication number)：1994120324
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 高精度の加工精度を要求される半導体ウエハの正確な位置決めを可能にする。【構成】 高精度の加工精度を要求される半導体ウエハの位置決め機構に関するものであり、基台2へ立設させた基軸3に乗載台4を固定し、乗載台4の外径は半導体ウエハWの外径よりも若干小径に形成すると共に、乗載台4の外周を六等分した位置の下方へ枢着部6を設け、枢着部6へ枢動扞7を枢着させ、枢動扞7へは緩衝部8を固定すると共に枢動によって乗載台4の上方へ突出するように配設し、枢動扞7へは下方部材へ当接させて半導体ウエハの直径と相対峙する一対の摺動扞の間隔を等しくする調整部材10を備え、枢動扞7の基端部11は駆動部と連結させたものであり、半導体ウエハはオリフラ部分を有していても六組の枢動扞7を配設しために、半導体ウエハの外周縁を利して少なくとも5組の枢動扞7で位置決めすものであり、その後の加工工程に正確に移送でき、加工精度が向上し、高精度の加工精度を安定して維持できる画期的なものである。
Claim (excerpt)：
平面研削盤、ラップ盤、ポリシング盤等のワークである半導体ウエハの位置決め機構であって、基台へ立設させた基軸の上端に円板状の乗載台を固定し、該乗載台の外径は前記半導体ウエハの外径よりも若干小径に形成すると共に、前記乗載台の外周を六等分した位置の下方の基台へ枢着軸を備えた枢着部を夫々設け、該枢着部へ縦方向に枢動可能な側面略L字状の枢動扞を夫々枢着させ、該夫々の枢動扞の先端辺の内側へは緩衝部を固定すると共に枢動によって少なくとも前記乗載台の上方へ突出するように配設し、該夫々の枢動扞へは前記乗載台の下方部材へ先端を当接させて半導体ウエハの直径と相対峙する一対の摺動扞の間隔を等しくする調整部材を備え、前記夫々の枢動扞の枢動軸を介した基端部は上下へ摺動する駆動部と連結させたことを特徴とする半導体ウエハの位置決め機構。
IPC (2)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 321
