イオン銃及びこれを使用する質量分析計

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石川泰男
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994519713
Publication number (International publication number)：1996507640
Application date： Mar. 03, 1994
Publication date： Aug. 13, 1996
Summary：

【要約】イオン銃が、使用中、ソース平面に対して垂直な方向に、ソース周囲からイオンが抽出されるように構成された少なくとも一部が環状のイオンソース(1,2,3)を備えている。使用中に、前記ソースの中心軸上の位置に向かってイオンを方向付けるように構成された方向付け手段(8,9,10)も設けられている。イオン銃は、単独またはイオン検出器(13)とともに使用され、質量分析装置を提供する。

Claim (excerpt)：

使用中、ソース平面に対して垂直な方向に、ソース周囲からイオンが抽出されるように構成された少なくとも一部が環状のイオンソース(1,2,3)と、使用中に、前記ソースの中心軸上の位置に向かってイオンを方向付けるように構成された方向付け手段(8,9,10)と、を備えているイオン銃。

IPC (3)：

H01J 49/14 , H01J 27/20 , H01J 49/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (18)

特開平2-204941
特開平2-168541
特開平3-030251

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