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J-GLOBAL ID：200903018236621512

保護テープ剥し装置及びその剥し方法

Inventor： 加藤 健一
Applicant, Patent owner： 山形日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996277758
Publication number (International publication number)：1998125768
Application date： Oct. 21, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】裏面研磨工程により、保護テープとウェーハとの接着力が強化されている場合でも、容易に且つ処理能力を高める保護テープ剥し装置及びその剥し方法を提供することにある。【解決手段】ウェーハ7上の保護テープ6を剥離する剥離ローラ13の移動に合わせて、所定時間だけ純水を吐出する純水ノズル14と、テープ剥し部18やウェーハ乾燥部19とを設ける。ローラ13が左方向へ進むのと連動して巻取りドラム3を回転させ、剥離テープ12に付着した保護テープ6がウェーハ7の表面から湾曲してその端部で剥れた状態とする。巻取りドラム3の回転から所定時間後、純水ノズル14より接着界面に純水を吐出する。この純水を吐出しながらドラム3を回転させ、テープ12に付着した保護テープ6を巻取る。

Claim (excerpt)：

保護テープが貼付されたウェーハおよび前記保護テープを剥離された前記ウェーハを搬送するための搬送アームと、前記搬送アームにより移送された前記保護テープの貼付された前記ウェーハを固定するテープ剥し部と、前記テープ剥し部に固定された前記ウェーハの前記保護テープ上に駆動され密着させる剥離テープの駆動機構と、前記保護テープおよび前記ウェーハの界面に所定時間だけ純水を供給する純水ノズルと、前記テープ剥し部で前記保護テープを剥離された前記ウェーハを乾燥させるウェーハ乾燥部とを有することを特徴とする保護テープ剥し装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/301

FI (3)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 321 B ,  H01L 21/78 P