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J-GLOBAL ID：200903018244339109

自動アライメント装置

Inventor： 伊藤 一衛 ,  吉田 元夫 ,  藤原 孝洋 ,  内山 英治
Applicant, Patent owner： 株式会社岡本工作機械製作所 ,  ジャパン・イー・エム株式会社
Agent (1)： 半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993248758
Publication number (International publication number)：1995077813
Application date： Sep. 08, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ダイシングするウェハーを効率よく、かつ高い精度でアライメントできる半導体ウェハーの自動アライメント装置を提供する。【構成】 ウェハー16はこの装置に搬入され右から左へと移動する途中で、マクロカメラ20、セミマクロカメラ26、ミクロカメラ28という三つの異なる倍率のカメラによって順次その画像が取り込まれ、各段階でそれぞれの精度に従ったアライメントがなされる。マクロアライメントではウェハーの全体形状についてのアライメントがなされ、セミマクロアライメントではカメラの中心から最も近いグリッドをカメラの中心に一致させ、各グリッドのアドレスを特定、ミクロアライメントではグリッドに対してのアライメントが行われる。このように順次倍率を高めてアライメントを行うことにより、効率的かつ正確な位置合わせが可能となる。

Claim (excerpt)：

被処理物の画像を取り込む低倍率、中倍率、高倍率の少なくとも三つの光学手段と、該三つの光学手段のうち低い倍率の光学手段から高い倍率の光学手段へと順次前記被処理物を搬送する手段と、前記被処理物が搬送される途中で前記各光学手段によって得られた画像に基づいて前記被処理物の位置合わせを行う制御手段とを有することを特徴とする自動アライメント装置。

IPC (4)：

G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301

FI (3)：

H01L 21/30 507 T ,  H01L 21/78 C ,  H01L 21/78 Q

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 自動位置決め装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-201628   Applicant：株式会社ニコン
• 特開平4-035846
  
• 特開平4-035846